陶瓷传感器与扩散硅传感器的比较

陶瓷传感器是指采用陶瓷材料的用于感受测量信号用于转换输出的传感装置。陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料，并具有绝佳的热稳定性。而高性能、低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向。 用于传感器的陶瓷材料可根据其不同的特征参数分类为： 化学成分、相结构成分、物理(电、磁、介质)性质。
陶瓷传感器是干式传感器，过程压力直接作用在坚固的陶瓷膜片上，基板电极和膜片电极可以检测出与压力相关的电容变化，测量范围取决于陶瓷膜片的厚度。膜片破碎的自诊断功能。保证抗过压能力可达正常压力的40倍 。高纯度99.9%陶瓷，具有与哈氏合金相同的抗化学腐蚀能力。适用于真空场合。第二腔室用于提高机械强度，阻止因传感器损坏导致介质泄漏。
扩散硅传感器:基本原理是利用半导体的压阻效应和微机械加工技术，在单晶硅片的特定晶向上，用光刻、扩散等半导体工艺制做一惠斯登电桥，形成敏感膜片，当受到外力作用时产生微应变，电阻率发生变化，使桥臂电阻发生变化（一对变大一对变小）在激励电压信号输出，经过计算机温度补偿、激光调阻、信号放大等处理手段和严格的装配检测、标定等工艺，生产出具有标准输出信号的压力变送器.