上海千实精密机电有限公司解读不同微加速度计

　　

标准集团(香港)有限公司创立于2003年，总部在中国香港，研发生产销售纺织类、汽车内外饰类、皮革鞋材类、口罩防护服类等材料测试仪器，在上海设有分公司上海泛标纺织品检测技术有限公司，全面负责中国大陆地区的销售和售后服务，上海千实精密机电科技有限公司是其生产厂家，负责测试仪器的加工生产。

　　

公司起步于纺织领域的开发，秉持专业、真诚、热情、高效的服务理念，全面贴近客户需求，获得客户高度认可。一直以来，我们始终坚持提供适用产品，依赖专业高效的服务团队，整合技术和资源优势，为客户解决科研生产中遇到问题提供支持，从而带动国内科研及相关行业水平的提高。通过个性化的售前产品咨询，高效率的售后安装、维护和维修，标准集团正越来越多赢得市场和客户的信赖。

　　

工厂使命：

　　

上海千实致力于创新高质量的测试仪器，我们的任务是藉由团队的合作、细腻的创新、实际的效能与好的服务，将完整的实验室解决方案交给我们的客户及经销伙伴。

　　

公司价值观：

　　

1.客户至上

　　

上海千实在乎您的需求，获得您的信赖是我们永远的目标。专注于实现每个客户的需求，无论是客户定制产品、技术支持或其他相关服务，我们都全心全意完成您的期盼。

　　

2.创新思想

　　

上海千实坚持运用实验室技术，并累积每个使用者及员工的实际经验，不断突破创新，为所有顾客创造好的测试设备产品。

　　

3.技术水平

　　

上海千实拥有好的研发团队、产品管理专家以及杰出的服务人员，我们结合了各项实验经验与多方客户反馈，确保千实提供给您质量的产品及服务。

　　

4.人性化仪器

　　

上海千实提供操作简单、便利的测试仪器，拥有符合用户体验性的贴心设计，如触控面板及小型按键板，让客户方便、轻松的使用与操作。

　　

5.质量政策

　　

上海千实力图满足顾客所期望的标准，达到更高的境界，我们承诺会藉由各项研究及开发不断提升我们的服务质量，同时也接受每个迎面而来的挑战。

微加速度计是指加速度计与微电子机械系统（MEMS）相结合的一种用于测量加速度变化量的装置，也叫MEMS加速度计。它是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力，能够及时分析物体运动状态，通过微电子机械系统测量出物体的运动状态及轨迹。
微加速度计按检测方式，可分为压阻式、电容式、隧道式、共振式、热形式等几种。
1. 压阻式加速度计：通过在质量块的支撑（suspension）上嵌有压敏电阻来感应质量块偏移对支撑产生的应力进而获得加速度的信息。压阻式的主要问题是灵敏度较低，而且温度稳定性不好，一般需要大的质量块和温度补偿。
2. 电容式：质量快的位移导致其本和另一极板之间的电容发生变化，或者是质量快上有梳状电极，位移导致感应电极之间的电容量变化。通过测量电容量的变化获得质量快位移的变化进而知道加速度。电容式的优点是灵敏度高，噪声小，温度稳定性好，缺点是易受电磁干扰，需要特别封装。
3. 隧道电流式：通过在活动部件上添加一个隧穿针尖和另一个电极之间通有隧穿电流。当载体具有加速度时，活动部件的位移会导致隧道电流的剧烈变化（典型的是位移变化一个埃——10^-10米，隧道电流变化一倍），通过测量隧道电流可以获得很高的加速度的感应灵敏度，而且由于质量快可以做的很小，因此器件的体积很小，缺点是低频噪声很大，供电电压较高（上百伏）。
4. 谐振式：通过质量块受到的惯性力来改变另一根梁的轴向应力进而改变梁的共振频率。通过共振频率的测量就可以获得加速度的信息。
5. 热传感式：质量块的位移改变质量块和散热之间的间距进而改变质量快的温度，通过测量温度的变化来感知加速度。
其中，电容式微加速度计质量块在有加速度时向下运动，与边框上的另一个电极的距离发生变化，通过检测电容的变化可获得质量块运动的位移，主要结构分为悬臂摆片式和梳齿状的折叠梁式，并变异成其它类型。前者结构相对简单些，制作上也多采用体硅加工方法，简单的摆片式结构由上、下固定电极和可动敏感硅悬臂梁电极组成，用半导体平面工艺各向异性腐蚀，静电封接技术封装完成制作。后者可看作是悬臂梁的并、串组合，设计上要复杂得多，微加工方法则以表面牺牲层技术为主，多晶硅材料的各向同性性质可保证微机械性能的对称性，批量加工精度高，采用这种结构的敏感部分尺寸做得很小，实现与外围电路的单片集成。电容式微加速度计的灵敏度高、噪音低、漂移小、结构简单，在汽车安全气囊系统和防滑系统获得广泛应用，其检测范围与准确度的性能指标分别为50g（重力加速度），200°/s、500mg、10°/s、100°/s、1°/s，安全气囊系统检测碰撞的微加速度计的检测范围为±30~50g，精度100mg，检测侧面碰撞大约为250g或500g，防滑稳定系统的测量范围±2g，精度10mg。